氣瓶柜標(biāo)準(zhǔn)配置減壓裝置，自動(dòng)切換，自動(dòng)吹掃，真空發(fā)生器，終端過濾器，緊急切斷，泄漏偵測(cè)，噴淋稀釋，緊急關(guān)斷，抽風(fēng)故障報(bào)警，伴熱，供應(yīng)壓力監(jiān)測(cè)等自動(dòng)安全裝置，在氣體供應(yīng)過程中能夠?qū)崿F(xiàn)極高的安全性、穩(wěn)定性、可控性等。

潔凈度

通過使用高潔凈度的部件，在可控的環(huán)境中以超高純施工工藝加工操作，以確保系統(tǒng)對(duì)氣體的二次污染被控制在PPB級(jí)別

安全性

以必要的安全裝備與控制系統(tǒng)來預(yù)防及緊急應(yīng)對(duì)氣體意外泄漏帶來的危險(xiǎn)

穩(wěn)定性

通過優(yōu)化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和嚴(yán)格的制造過程控制，確保設(shè)備能夠持續(xù)不間斷地以穩(wěn)定的壓力和流量輸送氣體