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在半導(dǎo)體、集成電路及電子等高新技術(shù)行業(yè)中，因工藝生產(chǎn)需要特種氣體或高純化學(xué)品的參與反應(yīng)，所以要安裝電子特氣系統(tǒng)及高純化學(xué)品系統(tǒng)，來(lái)保證特種氣體的安全使用。而在特氣及化學(xué)品系統(tǒng)中，氣體及化學(xué)品管路從VMB/VMP到客戶設(shè)備使用端這段工程，便是二次配部分。
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